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無線振動記錄器

  

可實際量測Robot/Wafer/MASK動作或搬運時的振動:

Robot已廣泛運用在半導體廠房中,可做WaferMASK的搬運或傳送,Robot在使用一段時間後會產生傳動皮帶的彈性疲乏機械的磨耗與背隙,造成Robot在運作時會有異常的抖動,這在半導體製程中是要極力避免的,因此Robot何時該做維修保養? 維修後是否回復到原有的精度水準? 必須有一套方法可以有效的去量測或確認。巨克富所開發之Vibration Sensing System,具備WaferMASK或長方體外型可量測Robot在傳送WaferMASK時的振動,內建高精度三軸振動感測器,可高速完整記錄整個過程的振動與角速度,紀錄可透過WiFi即時傳輸或SD記憶卡儲存資料,連續記錄時間可長達4hrs。可應用於:無人搬運車、Wafer倉儲系統,Robot維修檢測。

系統特色:

l   無線量測技術,連續記錄可達4hrs。
l   體積輕巧,可依照客戶需求打造外型。
l   內建感測器,可量測三軸加速度及三軸角速度。
l   量測軟體可做頻譜角度趨勢分析 
 
型號選單:
                        
型號 VSS-8 VSS-12 VSS-Mask VSS-Cub
尺寸規格(mm) Φ203(8")x6.7(T) Φ305(12")x7.0(T) 152(W)x152(D)x6.5(H) 82(W)x77(D)x31(H)
重量(g) 180 260 320 250
工作時間(hr) 4hrs 4hrs 4hrs 4hrs*
*註:VSS-Cub可選購外接電源模組,搭配外接電源模組即可做長時間記錄。 
 
規格:
振動量測種類 加速度與角速度 量測模式 連續記錄,觸發記錄
擷取速度(S/s) 10、20、50、100、200、500、1000 資料儲存 電腦(透過WiFi)、SD卡
分析功能 YT曲線、頻譜分析、統計圖、角度分析、向量和、振動位移、事件註記
量測範圍 加速度(g) ±2, ±4, ±8, ±16
角速度(°/sec) ±250, ±500, ±1000, ±2000 濾波分析 Low pass、High Pass、Band pass、Band stop
俯仰角(°) ±80°
傾角(°) ±80° 頻譜分析 FFT、Power Spectrum、Power Spectrum density
解析度 加速度(bit) 16(0.07mg@ range 2g)
角速度(bit) 16(0.008°/sec@ range 250°/sec) 統計圖  Max、Min、RMS、Mean、P-P
無線通訊  WiFi  FFT Average  Vector、RMS、Peak hold、None 
儲存裝置(容量) SD Card(Max. 16G)*   資料重撥與分析 單步前進、單步後退、連續撥放
電源需求 內建Battery 資料輸出  CSV/Excel Format 
工作時數 >4小時 支援語系 英文
 *註:1000Hz速度紀錄,1hr 約45MB。
 
軟體畫面:
     
 
    
    
產品規格
 
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